【中科院立功！#5nm激光光刻研究获进展#】[给力]近日，中科院苏州纳米所张子旸团队基于光热反应机理，设计开发了一种新型三层堆叠薄膜结构。所开发的新型微纳加工技术在集成电路、光子芯片、微机电系统等众多微纳加工领域展现了广阔的应用前景。 #听到北京防疫CNN主播的表情#
