EUV光源工程样机成功了，那太棒了！媒体报道：2023年4月13日下午，中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼到长春光机所调研，对其研制成功极紫外光刻机重要部件-- EUV 光源工程化样机表示高度肯定。工程样机成功，虽然没有透露是不是已经解决稳定性、可靠性、工作时长等。不过这绝对是石破天惊的 ...展开
