华为公开四重曝光工艺专利，能造5nm？Intel都没搞定摘自快科技近日，国家知识产权局公布了华为技术有限公司的多项新专利，其中一项专利号 CN117751427A 的涉及到 " 自对准四重图案化 ( SAQP ) 半导体装置的制作方法以及半导体装置 "，也就是江湖传闻已久的多重曝光芯片制造工艺。传统的芯片制造方 ...展开
