媒体报道：2023年4月13日下午，中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼到长春光机所调研，对其研制成功极紫外光刻机重要部件-- EUV 光源工程化样机表示高度肯定。镜片也有报道成功搞定0.5nm精度的产品。#星辰大海# 🔗 网页链接
